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产å“ä¸å¿ƒ
å…¬å¸äº§å“èšç„¦äºŽçº³ç±?亚纳米级三维结构的高精密高速检测和é‡æµ‹
原å力显微镜APEX-OL
APEXOL-1000带æ¥åŸƒç±³çº§åˆ«çš„扫æ精度，åŒæ—¶å¯æ供相ä½ï¼Œç”µåœºï¼Œç£åœºå’Œå¯¼ç”µæ€§èƒ½çš„测é‡ã€‚为实验室æ供快速且高精度的é‡æµ‹æ•°æ®ã€?
原å力显微镜APEX-IL
APEXIL-X1是应用于晶圆厂的在线自动化AFMé‡æµ‹ç³»ç»Ÿã€‚本系统å¯ä»¥è½»æ¾æ£€æµ‹å‡ºæ™¶åœ†ç¼ºé™·ï¼Œåˆ†è¾¨çŽ‡å¯è¾¾çº³ç±³çº§ã€‚åŒæ—¶å¯æ供高达10mm的线性长程扫æ，以åŠçµæ´»çš„æ¢é’ˆç³»ç»Ÿã€?
原å力显微镜APEX-IL
APEXIL-X1是应用于晶圆厂的在线自动化AFMé‡æµ‹ç³»ç»Ÿã€‚本系统å¯ä»¥è½»æ¾æ£€æµ‹å‡ºæ™¶åœ†ç¼ºé™·ï¼Œåˆ†è¾¨çŽ‡å¯è¾¾çº³ç±³çº§ã€‚åŒæ—¶å¯æ供高达10mm的线性长程扫æ，以åŠçµæ´»çš„æ¢é’ˆç³»ç»Ÿã€?
应用案例
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关于我们
å—京埃米仪器科技有é™å…¬å¸æ˜¯ä¸€å®¶è‡´åŠ›äºŽç ”å‘å’Œç”Ÿäº§ç”¨äºŽèŠ¯ç‰‡åˆ¶é€ é«˜ç²¾å¯†é‡æµ‹è®¾å¤‡çš„技术ä¼ä¸šã€‚å…¬å¸ä»¥èŠ¯ç‰‡åˆ¶é€ ä¼ä¸šä¸ºä¸»è¦å®¢æˆ·ï¼Œäº§å“èšç„¦èŠ¯ç‰‡åˆ¶é€ 过程ä¸æ™¶åœ†è¡¨é¢ç²—糙度ã€CMP 轮廓ã€å…‰åˆ»åŠåˆ»èš€ä¸çš„三维结构ç‰å…³é”®æŒ‡æ ‡çš„在线检测和é‡æµ‹ï¼ŒåŠ©åŠ›å®¢æˆ·å¤§å¹…æ高产å“的良率ã€ç¼©çŸå·¥è‰ºçš„ç ”å‘进程ã€?/p>
å…¬å¸æ‹¥æœ‰ä¸€æ”¯ä»¥å›½å®¶çº§äººæ‰ä¸ºä¸»çš„ç ”å‘æ ¸å¿ƒå›¢é˜Ÿï¼Œç›®å‰å·²ä¸Žå—京大å¦ã€å±±ä¸œå¤§å¦ã€å—æ™ºå…‰ç”µç ”ç©¶é™¢ç‰å›½å†…å¤–ç§‘ç ”é™¢æ‰€ã€æœºæž„建立密切åˆä½œå…³ç³»ã€‚ä¾æ‰˜å…¬å¸æ ¸å¿ƒå›¢é˜Ÿå¤šå¹´æŠ€æœ¯å‚¨å¤‡ï¼Œèšç„¦é«˜ç«¯é‡æµ‹äº§å“å¼€å‘，包å«ç”¨äºŽèŠ¯ç‰‡ç”Ÿäº§è¿‡ç¨‹æŽ§åˆ¶çš„超快高精密原å力显微镜在线é‡æµ‹è®¾å¤‡åŠé«˜ç«¯æ··åˆæŠ€æœ¯é‡æµ‹è®¾å¤‡ã€?/p>
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产å“主è¦åº”用在集æˆç”µè·¯èŠ¯ç‰‡åˆ¶é€ 良率检测ã€åŠå¯¼ä½“æ料的表é¢å¾®ç»“æž„é‡æµ‹å’Œç¼ºé™·æ£€æµ?
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